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分子束外延系統(tǒng)的作用與分類
日期：2025-05-10 11:32
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摘要：
分子束外延系統(tǒng)是半導(dǎo)體、光伏新材料、科學(xué)研發(fā)領(lǐng)域重要設(shè)備之一，近年來，隨著半導(dǎo)體、新材料等行業(yè)發(fā)展，分子束外延系統(tǒng)市場(chǎng)需求不斷釋放。
分子束外延系統(tǒng)是一種用于物理學(xué)、化學(xué)、材料科學(xué)領(lǐng)域的分析儀器。分子束外延（MBE）是一種新的晶體增長(zhǎng)技術(shù)，是在超高真空環(huán)境下，使具有一定熱能的一種或多種分子（原子）束流噴射到晶體襯底，在襯底表面發(fā)生反應(yīng)的過程。作為新外延制膜方法，分子束外延具有束流強(qiáng)度易控制、襯底溫度低、膜層生長(zhǎng)速率慢、可實(shí)現(xiàn)選擇性外延生長(zhǎng)等優(yōu)勢(shì)。
根據(jù)類型不同，分子束外延系統(tǒng)可分為普通型、激光型，其中普通型分子束外延系統(tǒng)是市場(chǎng)主流產(chǎn)品，市場(chǎng)占比超過七成。激光分子束外延系統(tǒng)是基于傳統(tǒng)的分子束外延系統(tǒng)和脈沖激光沉積系統(tǒng)（PLD）發(fā)展起來的，其屬于**薄膜制備設(shè)備，未來應(yīng)用前景更廣闊。
分子束外延系統(tǒng)是一種用于物理學(xué)、化學(xué)、材料科學(xué)領(lǐng)域的分析儀器。分子束外延（MBE）是一種新的晶體增長(zhǎng)技術(shù)，是在超高真空環(huán)境下，使具有一定熱能的一種或多種分子（原子）束流噴射到晶體襯底，在襯底表面發(fā)生反應(yīng)的過程。作為新外延制膜方法，分子束外延具有束流強(qiáng)度易控制、襯底溫度低、膜層生長(zhǎng)速率慢、可實(shí)現(xiàn)選擇性外延生長(zhǎng)等優(yōu)勢(shì)。
根據(jù)類型不同，分子束外延系統(tǒng)可分為普通型、激光型，其中普通型分子束外延系統(tǒng)是市場(chǎng)主流產(chǎn)品，市場(chǎng)占比超過七成。激光分子束外延系統(tǒng)是基于傳統(tǒng)的分子束外延系統(tǒng)和脈沖激光沉積系統(tǒng)（PLD）發(fā)展起來的，其屬于**薄膜制備設(shè)備，未來應(yīng)用前景更廣闊。